Описание |
Госреестр № 48171-11
3D-Обзор МИА-1М
Состав:
- Микроскоп МИА-Д - 1 шт.;
- Блок освещения и управления - 1 шт.;
- Волоконно-оптический жгут - 1 шт.;
- Компьютер с монитором (или ноутбук)- 1 шт.;
- Кабели - 4 шт.;
- Руководство по эксплуатации - 1 шт.
Пример работы микропрофилометра:
- Участок поверхности компакт-диска
- Прямоугольная решетка TGZ3 фирмы NT-MDT (высота профиля – 80 нм, период – 3 мкм)
Перейти на страницу примеров работы микропрофилометра
|
Производится под заказ, цена договорная
«МИА-1М предназначен для измерения профиля поверхности отражающих объектов в микро- и нанодиапазоне, а также показателя преломления жидкости (при использовании специальной кюветы).
Микропрофилометр МИА-1М позволяет исследовать отражающие объекты, состоящие из различных по своим электрическим свойствам материалов (диэлектрик, проводник и пр.) и рассчитывать параметры шероховатости (Ra, Rz, Rmax и пр.). Для расширения диапазона измерения высот профиля поверхности в микроскопе используется метод регистрации на нескольких длинах волн (при использовании специального осветительного блока).
МИА-1М может использоваться в биологии для исследования микробиологических объектов без окрашивания при их размещении на отражающей поверхности.
Области применения
в промышленности:
- бесконтактное измерение нано и микропрофиля отражающих поверхностей
- измерение высотных и шаговых параметров шероховатости
- измерение толщины тонких пленок
- динамические измерения
в биологии и медицине:
- возможность исследования живых неокрашенных клеток
- морфометрия клеток
- измерение сухого веса клеток с точностью 10-12 г
- измерение показателя двулучепреломления
- оценка состояния популяции клеток
- динамическая фазовая микроскопия
Принцип действия МИА-1М основан на интерференции световых пучков лазерного излучения, отраженного от опорного зеркала и поверхности измеряемого изделия. Основой микроскопа является микроинтерферометр Линника МИИ-4М (ЛОМО). Для автоматизации измерений реализован метод дискретного фазового сдвига при помощи управляемого от компьютера зеркала на пьезоэлементе, встроенного в опорное плечо микроинтерферометра. Интерференционные картины при различных положениях опорного зеркала регистрируются с помощью встроенной цифровой видеокамеры и передаются в персональный компьютер, где производится их обработка в автоматическом режиме. В результате обработки восстанавливается оптическая разность хода, соответствующая измеряемому профилю поверхности.
Контактные данные
8 (800) 350 25 51 |
доб. 3605 |
8 (495) 665 52 91 |
Перейти на страницу примеров работы микропрофилометра
|
Технические характеристики |
|
Поле зрения - канал 1, мкм - канал 2, мкм |
130 × 175 32 × 44
|
Диапазон измерения высот, мкм |
0,001 ÷ 3 (15*)
|
Разрешающая способность - в плоскости XY, мкм - по оси Z, Å |
0,3 0,8
|
Диапазон измерения показателя преломления |
1 ÷ 2
|
Абсолютная погрешность измерения показателя преломления |
1•10-3
|
Числовая апертура микрообъектива |
0,65
|
Пределы перемещения для фокусировки, мм |
3
|
Увеличение, крат |
33,4
|
Пределы перемещения интерференционной головки по вертикали, мм |
± 1,5
|
Цена деления шкалы барабана микрометрического винта интерференционной головки, мм |
0,003
|
Источники излучения |
лазеры
|
Длина волны, мкм |
0,473; 0,532; 0,635; 0,650
|
Алгоритм реконструкции |
метод фазовых шагов
|
Размерность изображения, пиксель |
1392 х 1040
|
Время измерения и обработки, сек |
30
|
Число обрабатываемых интерференционных картин |
9
|
Электропитание от сети переменного тока – напряжение питания, В – частота, Гц |
220 ± 22 50 ± 1
|
Потребляемая мощность, не более Вт |
250
|
Габаритные размеры, мм |
340 × 370 × 380
|
Масса, кг |
30
|
* – при использовании осветительного блока с несколькими длинами волн |
|
|
|
Все поставляемое оборудование ВНИИОФИ прошло первичную поверку |
|